fei扫描透射电子显微镜

快速、准确的数据精准的数据。MetriosDX是一款重新设计的80-200kV扫描/透射电子显微镜，能够以吞吐量提供基于TEM和S/TEM的、可重复的成像、分析和可测量计量结果。  

ThermoScientific™Metrios™DXTEM将成熟的技术和创新的功能结合，是需要对日益复杂的结构和更小的尺寸进行更大量精确测量的半导体和内存环境的平台是半导体和存储环境对先进制程日益复杂的结构和不断缩小的尺寸进行大量精准测量的平台。  

与传统S/TEM系统相比电子显微镜相比，赛默飞MetriosDX扫描/透射电子显微镜能够以每样品低得多的成本提供“一次即准确的”数据能够以更低的每样品成本提供的数据。MetriosDXTEM提供的吞吐量，同时可以最大限度地减少射束损伤。ThermoScientificDual-X™EDS系统的能谱仪的1.8srad立体角成倍增加了成倍增加了Super-X能谱仪系统上的X射线计数计数。自动探针校正器可以在自动球差校正器可以保持1周以上的时间内使3阶或更高阶像差保持稳定阶或更高阶像差稳定一周以上，同时可全自动对焦、校正像散、像差和3倍像散。MetriosDXTEM可以在80kV下全自动运行，与在200kV下运行的Super-X相比，EDS吞吐量吞吐量可实现4倍X提升，同时显著减小射束损伤。  

赛默飞MetriosDX扫描/透射电子显微镜主要优势:  

一致、可重复、精确，可重复、重新设计，可提供基于TEM和S/TEM的可重复的成像、分析和可测量计量结果，免于人工操作误差不会出现操作误差  

有保证的计量精度，TEM和S/TEM的失真和放大倍数校准组合误差小于1%  

自动EDS和混合测量技术，自动采集和量化EDS数据。对主要关键尺寸使用元素对比来测量以扩展STEM  

工作流环环相扣，在样品制备、挖蚀和成像过程中跟踪关键流程数据提取和成像过程中跟踪关键流程数据。可以离线使用测量技术，最大限度地延长机台工具的数据采集时间。所有成像和计量数据均在基于Web的图像查看器中进行合并统一。

 
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