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零件加工精度以纳米，甚至之后以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时，零件切削加工方法已不能适应，需要借助特种零件加工的方法，即应用化学能、电化学能、热能或电能等，使这些能量超过原子间的联合能，从而去除工件外表的部分原子间的附着、联合或晶格变形，以达到超加工的目的。属于这类加工的有用械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。
提高精密机械加工的方法有哪些呢及工艺影响<一>、提高精密机械加工件的方法有哪些呢
在进行工作的时候，我们都很讲究方法，特别是在进行精密机械加工件的时候。不知道大家是否知道怎么进行精密机械加工件，提高精密机械加工件的方法有哪些，分别如下：
非标设备零件加工进程中会呈现刀具磨损、加工外表完好性差、切屑扫除困难等共性疑问，严重影响了此类资料精密机械加工件的质量、出产周期及加工成本。
非标设备零件加工需求深受超润滑的加工外表和高的加工精度，这需求刀具有高的标准寿数，刀具是不是已磨损，将以加工外表质量是不是降低超差为依据。金刚石刀具的标准寿数甚高，高速切削时刀具磨损亦甚慢。因而超精密切削时，切削速度并不受刀具寿数的制约，这点是和一般的切削规则不一样的。
非标设备零件加工实习挑选的切削速度，经常是依据所运用的超精密机床的动特性和切削系统的动特性挑选，即挑选振动较小的转速。由于在该转速时外表粗糙度较小、加工质量较高。取得非标精密机械加工件外表是非标设备零件加工的要疑问。运用质量好，特别是动特性好，振动小的超精密机床可以运用高的切削速度，可以行进加工的功率。
非标设备零件加工参数的挑选要包含切削刀具视点的挑选、切削速度的挑选和切削及进给速度的挑选等。从以往的经历中咱们晓得在加工塑性资料时假如挑选较大前角的刀具可以有用按捺积屑瘤的构成，这是刀具前角加大时，切削力减小，切削变形小，刀具与切屑的接触长度变短，减小了积屑瘤构成的基础。
<二>、高精密产品零部件加工中温度对工艺的影响
我们的工作环境非常的重要，它可以发挥很大的作用。平常生活中，经常会使用到高精密产品零部件加工，所以对它是比较熟悉的。在实际高精密产品零部件加工生产过程中在各种热源(摩擦热、切削热、环境温度、热辐射等)的作用下，机床、刀具、被加工工件等温度发生变化会产生热变形，从而影响工件与刀具间的相对位移，造成加工误差，进而影响零件的加工精度。如钢材的线膨胀系数为0.000012/℃，对于长度为100mm的钢件，当温度上升1℃时将伸长1.2μm。温度变化除了直接影响工件的伸缩外，对机床设备精度也有影响。
在高精密产品零部件加工中，对工件的加工精度及精度的稳定性提出了高的要求。据有关资料统计，在高精密产品零部件加工中、出于热变形引起的加工误差占加工总误差的40%-70%．因此在精度适宜高精密产品零部件加工中，为了避免工件因温度变化产生胀缩，一般严格规定环境的基准温度．并制定了温度变化的偏差范围，20℃±0.1℃和20±0.01℃的恒温加工已经出现。
一般情况下，对于高精密产品零部件加工用恒温恒湿实验室，为了避免被加工工件在加工和计量时因温度变化产生胀缩，一般严格规定室内的基准温度，并制定了温度变化的偏差范围，而对于空气相对湿度的要求就没有纺织品检测的精度要求严格。如某一家园级超高精密产品零部件加工实验室，要求温度为20℃±0.2℃，而相对湿度则为45%±5%。
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