MKS GE250A是通用的弹性密封的MFC,非常适用于大流量质量流量计或质量流量控制器的各种各样要求,流量范围从100-250slm,GE250A MFC设计有获得MKS的热传感器技术与机械设计,有模拟与数字I/O的常用性通讯模式,利用了MKS控制算法,提供设定点的快速和可重复性的响应。GE250A精度为1%,精度控制为2%至满量程,优于很多典型质量流量控制器。
MKS GE250A特点:
快速响应的设定点保证流量的稳定性
严格控制的工艺气体流量精度可以改进工艺的匹配
降低了进气压力(压差)的要求,简化了气的供应调控
新的设计降低了整体成本
在很宽的量程范围有精确的流量控制,减少了一个额外的低范围的MFC
设计上很易于集成与操作
通过标准的以太网接口的设备配置和诊断简单。
使用标准的Web浏览器不需要任何特殊的软件
CE认证与RoHS要求
MKS GE250A的技术参数
量程范围:100-250slm
进气口压力:150pisa
正常工作压差:30-55左右(大气压力在出口)
控制范围:2%至
精度:读数的20%到 ±1%
5%到20% ±0.25%
重复性:读数0.5%
工作的环境温度:10-50℃
MKS GE250A的订购资料:
例:型号GE250A013255TBV0010 |
采购序列号 |
大流量质量流量控制器 |
GE250A |
校准气体 |
|
氦气He |
001 |
氩气Ar |
004 |
氢气H2 |
007 |
氮气N2 |
013 |
氧气O2 |
015 |
其他气体 |
可选 |
校准流量SLM |
|
250slm |
255 |
装配件 |
|
8 VCR |
T |
8 VCO |
D |
1/2 tube管 |
S |
1/2NPT |
M |
电气/通讯连接器 |
|
模拟15针D型(I/O 0-5VDC) |
B |
15针D型(4-20mA) |
H |
密封 |
|
Viton |
V |
Neoprene |
N |
Buna N |
B |
EPDM |
E |
MKS |
|
标准 |
00 |
软件版本 |
|
MKS会安装出厂日期版本 |
10 |
原文链接:http://www.hzciic.com/shangji/show-29340.html,转载和复制请保留此链接。
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