美国MKS 345系列皮拉尼真空传感器

MKS皮拉尼真空压力传感器345标准的热传导真空传感器，通过测量从一个热丝的热损失的措施的压力。这种压力传感器是坚固的，具有快速、稳定可靠的真空测量真空传感器。的温度补偿电路提供对整个操作范围更大的传感器的稳定性。345传感器屏蔽RF免疫。

美国MKS真空传感器 MKS 345系列皮拉尼真空传感器Features & Benefits:特点和优点：

Rugged filament design for high reliability

高可靠性弯曲的灯丝的设计

Rapid response to pump down

泵下快速反应

Sensor may be mounted in any position

传感器可安装在任何位置

美国MKS真空传感器 MKS 345系列皮拉尼真空传感器Applications:应用：

The 345 Pirani vacuum sensor is ideal for applications in the rough to medium vacuum range, including measurement of base pressures of mechanical vacuum pumps or start-up of system processes. It can be used in many industrial applications such as semiconductor manufacturing, load locks, leak detection, vacuum coating, and freeze dryers.

345皮拉尼真空传感器是在粗糙的应用中真空范围，包括机械真空泵或启动系统压力测量过程。它可以用在许多工业应用，如半导体制造，负载锁，检漏，真空镀膜，和冷冻干燥机。

General vacuum pressure measurement

一般真空压力测量

Foreline and roughing pressure measurement

前级和粗压力测量

Gas backfilling measurement and control

气体充填的测量与控制

Mass spectrometer control

质谱仪控制

Activation of UHV gauges

激活真空计

System process control (interlocks, valves, pumps)

系统过程控制（联锁装置，阀门，泵）

Control system pressure

压力控制系统

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