1179A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器,可在多种场合测量和控制气体的流量,特别是对可重复性要求高的场合。配上合适的压力传感器,它还可以作为压力控制器使用。
对于当今市场上的质量流量控制器,1179A是当前常用质量流量计在尺寸、安装以及功能上的直接替代产品。标准的3英寸底座使1179A能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。
MKS 1179A质量流量控制器订购资料
例:型号1179A00411CR1BVXX |
订购序列号 |
1179A质量流量控制器 |
1179A |
校准气体 |
|
氦气He |
001 |
氩气Ar |
004 |
氢气H2 |
007 |
氮气N2 |
013 |
氧气O2 |
015 |
其他气体 |
可选 |
校准流量Sccm |
|
10 |
11C |
20 |
21C |
50 |
51C |
100 |
12C |
200 |
22C |
500 |
52C |
1000 |
13C |
2000 |
23C |
5000 |
53C |
10000 |
14C |
20000 |
24C |
装配件 |
|
4 VCR凸接头 |
R |
4 VCO凸接头 |
G |
0.25英寸管 |
S |
长度适配器W/4VCR配件 |
L |
长度适配器W/ 1/4“配件 |
W |
阀门 |
|
常闭 |
1 |
连接器 |
|
9针D型 |
A |
15针D型 |
B |
15针边缘卡接口 |
C |
单元设备15针D型接口 |
N |
Millpore15针D型接口 |
T |
密封 |
|
标配:Viton |
V |
选配:Neoprene |
N |
选配:Buna N |
B |
选配:KalreZ |
K |
固化软件版本 |
|
MKS会安装订购时软件版本 |
XX |
原文链接:http://www.hzciic.com/shangji/show-44945.html,转载和复制请保留此链接。
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