MKS GM100A质量流量控制器

GM100A是金属密封的数字质量流量控制器，非常适合应用于50-100slm各种各样的工艺中，GM100A具备的传感器技术与机械设计，并且融合的数字与协议电子控制，相对于其他品牌对应产品是秀的产品。GM50A与GM100A的流量范围涵盖5sccm至100slm的超宽量程范围。

GM100A MFC有I/O模拟与数字通讯电气控制，MKS的数据处理控制算法提供了在控制范围内快速的可重复性。精度为标定气体的1%，GM100A的通讯接口等完全兼容1479A MFC，并且扩展了流量范围。所有GM100A包括modbus可作为一种有效二次1/O。

GM100A特点与优点：

MKS的热传感器设计提供了的稳定性。

设计精度为1%保证了过程的精确控制

很容易调节量程范围，减少了客户成本

高抛光的316L表面适合高纯度工艺使用

兼容模拟和数字（RS485/DeviceNet、Profibus协议）可以完全替换1479A

符合CE与RoHS认证

Compact 3 inch footprint with high flow 4 VCR fittings allows the user to increase system flow rate without the need to modify gas lines.

GM100A主要技术参数：

量程范围：50-100slm（GM50A 5-50000sccm）

进口压力：150Pisa

工作压力：40-80Pisa

承受压力：1000pisa

损坏压力：1500Pisa

控制范围：全量程的2%至

精度：在20%至设定量程为±1%，设定值2%至20%时为±0.2%

重复性：读数的0.3%

分辨率：0.1%

响应时间：小于750msec

工作温度：10~50℃

GM100A订购资料：