●双重方向沉积- ●基材- 40厘米宽20厘米 ●自定义和较大的衬底可用选项 ●膜厚度监测 ●Sprint快速退火 ●本底真空10 x -7 ●油式机械或无油干式泵 ●油扩散或分子泵 ●低温补集泵 ●沉积来源—— ●平面磁控溅射,co蒸发、硒、热退火、自定义 ●—附加功能—— 机载诊断 网络兼容 等离子体预处理 1到7阴极配置(4正面,3背面)
电气配置:公用资源 ●空气:80 psi(5.5条)@ 20 cfm ●电气:480 v / 3 p / 50 hz / 250 ,其他电源配置可用 ●水:50美制加仑/分钟(220升/分钟)@ 60 - 80 F(15 - 26度) ●接地:两(2)¾”直径包铜钢棒驱动,通过地板,进入地底,深度8”,接地棒分开6英尺距离,接地电阻小于3欧姆。 ●直流电源30 - 180千瓦 ●交流电源 ●射频功率 ●脉冲直流电源 ●HIPIMS -高影响等离子体磁控溅射
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